Dinamik tarama optik sistem optiği: 1 adet küçük odaklı lens, 1-2 adet odaklama lensi, Galvo ayna. Optik lensin tamamı ışın genişletme, odaklama ve ışın saptırma ve taramanın bir fonksiyonunu oluşturur.
Genişleyen kısım negatif bir mercektir, yani ışın genişlemesini ve hareketli yakınlaştırmayı gerçekleştiren küçük odaklı mercek, odaklama merceği bir grup pozitif mercekten oluşur.Galvo aynası galvanometre sistemindeki aynadır.
(1) Lens tasarımının optimizasyonu: Optimum çap/kalınlık oranı
(2) Lensin yüksek hasar eşiği:>30J/cm2 10ns
(3) Ultra düşük emme kaplaması, emme oranı: <20ppm
(4) Galvanometre kalınlığının çapa oranı: 1:35
(5) Mercek yüzey doğruluğu:<= λ/5
Objektif Sonrası Lens
| Maksimum Giriş Öğrencisi (mm) | Optik 1 Çap(mm) | Optik 2 Çap(mm) | Optik 3 Çap(mm) | Tarama Alanı (mm) | Açık Diyafram Tarayıcı Sayısı (mm) | Dalgaboyu |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10.6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355nm |
Reflektör Aynası
| Bölüm tanımı | Çap(mm) | Kalınlık(mm) | Malzeme | Kaplama |
| Silikon Reflektör | 25.4 | 3 | Silikon | HR@10.6um,Etki Alanı: 45° |
| Silikon Reflektör | 30 | 4 | Silikon | HR@10.6um,Etki Alanı: 45° |
| Fiber Reflektör | 25.4 | 6.35 | Kaynaşmış silika | HR@1030-1090nm，AOI: 45° |
| Fiber Reflektör | 30 | 5 | Kaynaşmış silika | HR@1030-1090nm，AOI: 45° |
| Fiber Reflektör | 50 | 10 | Kaynaşmış silika | HR@1030-1090nm，AOI: 45° |
| 532 Reflektör | 25.4 | 6 | Kaynaşmış silika | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektör | 25.4 | 6.35 | Kaynaşmış silika | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektör | 30 | 5 | Kaynaşmış silika | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektör | 50 | 10 | Kaynaşmış silika | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektör | 25.4 | 6 | Kaynaşmış silika | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektör | 25.4 | 6.35 | Kaynaşmış silika | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektör | 25.4 | 10 | Kaynaşmış silika | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektör | 30 | 5 | Kaynaşmış silika | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
Galvo Ayna
| Bölüm tanımı | Maksimum Giriş Öğrencisi (mm) | Malzeme | Kaplama | Dalgaboyu |
| 55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Silikon | MMR@10.6um | 10.6um |
| 55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Kaynaşmış silika | HR@1030-1090nm | 1030-1090 nm |
| 55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Kaynaşmış silika | HR@532nm | 532nm |
| 55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Kaynaşmış silika | HR@355nm | 355nm |
Koruyucu Lens
| Çap(mm) | Kalınlık (mm) | Malzeme | Kaplama |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
